电子材料与器件实验教程
出版时间： 2016年版
内容简介
本书是电子科学与技术专业和微电子专业的实验教材，内容包括半导体材料与器件的制备、测试、分析等四十三个实验。按照实验内容，全部实验被分为半导体材料与器件的制备技术(实验一至实验十)、半导体材料电子显微分析技术(实验十一至实验十七)、半导体材料基本物理性能参数测试(实验十八至实验三十五)、半导体器件性能测试(实验三十六至实验四十三)四个模块，各模块均包含验证性实验、综合性实验和设计性实验三种类型的实验，以适应不同专业层次实验教学的需求。 本书可作为电子科学与技术专业及微电子专业本科生和研究生实验教材， 也可以作为相关专业技术人员的参考书。