半导体化合物光电器件制备
作者：许并社 主编
出版时间：2013年版
内容简介
　　本系列丛书分为《半导体化合物光电原理》、《半导体化合物光电器件制备》、《半导体化合物光电器件检测》三部分。本书从ⅢA？ⅤA族半导体化合物的基本原理、光电器件制备与工艺以及器件性能检测等方面，较系统地介绍了相关基础知识，适合材料、物理化学、光学、微电子学与固体电子学等专业的本科生和研究生以及工程技术人员和企业相关人员阅读。
目录
第1章LED外延片1
1?1LED外延片的基本概念1
1?1?1外延片的概念1
1?1?2LED外延生长的概念、分类1
1?1?3LED外延工艺技术2
1?1?4MOCVD外延片制备的工艺流程9
1?2LED衬底材料9
1?2?1LED衬底材料的选择依据9
1?2?2LED衬底材料的种类10
1?3LED外延片源材料14
1?3?1MOCVD对源材料的要求14
1?3?2红黄光LED外延片的MO源14
1?3?3蓝绿光LED外延片的MO源15
1?4MOCVD设备16
1?4?1MOCVD设备概述16
1?4?2气体供应系统17
1?4?3MOCVD反应室17
1?4?4控制系统21
1?4?5尾气处理系统22
1?4?6Veeco TurboDisc K465i GaN MOCVD设备22
1?5LED外延片MOCVD工艺68
1?5?1红黄光LED外延片的MOCVD工艺68
1?5?2蓝绿光LED外延片的MOCVD工艺68
1?5?3外延技术的发展趋势72
1?6外延片的检测73
1?6?1结构测试73
1?6?2LED外延片的光学性能测试74
1?6?3LED外延片的电学性能测试80
参考文献81
第2章LED芯片制备83
2?1引言83
2?2芯片制造工艺85
2?2?1清洗85
2?2?2ITO透明电极87
2?2?3光刻技术91
2?2?4刻蚀97
2?2?5氮化硅生长101
2?2?6扩散102
2?2?7欧姆接触104
2?2?8表面粗化108
2?2?9光子晶体111
2?2?10激光剥离(Laser Liff?off,LLO)117
2?2?11倒装芯片技术118
2?2?12垂直结构芯片技术118
2?2?13化学机械抛光118
2?2?14芯片的切割与分离120
2?2?15芯片分检入库121
2?3芯片制作工艺举例122
2?3?1芯片制备过程中的主要工艺122
2?3?2AlGaInP芯片制作工艺举例123
2?3?3GaN基大功率LED芯片制作工艺举例126
参考文献130
第3章LED芯片封装131
3?1LED封装原物料131
3?1?1LED支架131
3?1?2银胶和绝缘胶132
3?1?3焊线133
3?1?4封装材料134
3?2LED封装结构137
3?2?1引脚式封装137
3?2?2表面贴装封装137
3?2?3食人鱼封装138
3?3芯片封装工艺138
3?3?1封装生产工艺139
3?3?2封装设备142
3?3?3各种工艺操作规范144
3?4LED封装过程常见问题及解决办法150
3?4?1固晶破裂150
3?4?2胶水问题151
3?4?3气泡问题152
3?4?4反向漏电流152
3?5大功率和白光LED封装技术152
3?5?1大功率LED封装芯片152
3?5?2大功率LED封装关键技术154
3?5?3白光LED封装技术158
3?5?4大功率和白光LED封装材料161
参考文献165
第4章LED器件组装166
4?1LED器件166
4?1?1LED器件应用166
4?1?2LED器件性能167
4?2LED显示屏168
4?2?1LED显示屏的分类168
4?2?2LED显示屏的制作方法169
4?2?3LED显示屏的色度处理技术170
4?3LED照明173
4?3?1LED照明系统设计173
4?3?2LED灯具标准175
4?4LED背光源177
4?4?1LED背光源177
4?4?2LED背光模组178
4?4?3LED背光源发展趋势186
参考文献188
第5章太阳能电池190
5?1太阳能资源分布和主要技术利用发展概况190
5?1?1太阳能资源分布190
5?1?2太阳能的主要利用形式和光伏发电的运行方式192
5?1?3太阳能光伏技术的发展及前景193
5?2太阳能电池的工作原理和基本特性193
5?2?1太阳能电池的工作原理193
5?2?2太阳能电池的基本特性194
5?2?3影响太阳能电池转换效率的因素196
5?3太阳能电池的分类199
5?4太阳能电池发展存在的问题201
5?5硅太阳能电池202
5?5?1硅材料的制备与选取202
5?5?2单体电池的制造204
5?6太阳能电池组件及封装212
5?6?1太阳能电池组件的常见结构形式213
5?6?2太阳能电池组件的封装材料214
5?6?3组件制造工艺214
5?7常见薄膜太阳能电池217
5?7?1硅基薄膜电池217
5?7?2CdS薄膜与Cu2S/CdS太阳能电池227
5?7?3CdS/CuInSe2薄膜太阳能电池228
5?7?4CIGS薄膜太阳能电池231
5?7?5多晶薄膜CdTe材料与CdTe/CdS太阳能电池231
5?7?6砷化镓(GaAs)薄膜太阳能电池235
5?7?7有机薄膜太阳能电池235
5?7?8染料敏化太阳能电池237
5?7?9 胶体量子点太阳能电池237
5?8太阳能电池的发展趋势238
参考文献238