摘要∶采用直线插补与圆弧插补算法，在三轴卧式微细电火花机床上加工出圆锥台、四校台以及带有圆狐曲面的微细异型电极，并对加工结果尺寸误差及导致误差产生的原因进行了全面分析。结果表明，微细异型电极的尺寸误差均在2%以内，而放电间隙的随机性、机床运动精度、尺寸测量精度等均是导致误差形成的原因。