
摘要∶微细切削技术是精密超精密制造技术的研究热点之一,对不同材料的复杂三维微小零件加工具有独特优势。微细切削机床作为微细切削技术的重要组成部分,已呈现出微小化的发展趋势,是当今微加工装备研究与开发的重点。系统总结微细切削用微机床中床身、微主轴单元、进给工作台、微切削刀具、数控系统、监测系统等的研究现状;分析微机床中亟待解决的主机结构微小化、微主轴的高速高精度回转、工作台的高精度快响应进给、微切削刀具结构与性能、数控系统的开放性与 精度插补、加工过程的可视化监测以及整机性能研究等关键技术问题,提出解决上述问题的可能性对策;预测微细切削用微机床的发展趋势。