摘要∶利用电子束蒸镀技术在石英玻璃和单晶 Si （100）上制备了钠来TiO2薄膜，研究了衬底温度和退火温度对其结构、相组成和亲水性能的影响。结果表明，衬底温度为40～240℃时，石英玻璃上制备的薄膜为无定型TiO2，单晶Si<100）上制备的薄膜为弱结晶性的金红石TiO，，两类薄膜的亲水性均很差。退火温度显著影响薄膜的相组成及亲水性能。石英玻璃上不同衬底温度制备的TiO2薄膜经550，650℃退火后均转变为锐钛矿TiO2，具有很好的亲水性能。单晶Si （100>上不同衬底温度制备的TiO2薄膜经550～950℃退火后，均由金红石和锐钛矿TiO2混晶组成，且随退火温度升高，薄膜中锐钛矿TiO2含量逐渐增加;随退火温度升高，衬底温度为40℃时制备的TiO2 薄膜的亲水性能逐渐降低，而衬底温度为240℃时制备的TiO2薄膜的亲水性能逐渐增强。