第19卷第11期 2011年11月
文章编号
1004-924X(2011)11-2644-07
光学精密工程
Optics and Precision Engineering
Vol. 19No.11
Nov,2011
同步辐射水平偏转压弯镜面形误差分析与补偿
卢启鹏1*，高频頭1，2，彭忠琦1
（1.中国科学院长春光学精密机械及物理研究所应用光学国家重点实验室，吉林长春130033；
2.中国科学院研究生院，北京100039）
摘要：为提高同步辐射压弯镜面形精度，降低水平偏转压弯机构及镜子自重对压弯镜面形的影响，分析了影响压弯镜面形精度的因索，并提出了一种有效的重力平衡补偿方法。在研究水平偏转压弯机构压弯机理的基础上，对压弯镜面形进行误差分析；针对光束线中使用的压弯聚焦镜，利用有限元方法分析了影响面形精度的主要因素；最后，根据水平偏转压弯机构特点及误差分析结果，提出了重力平衡补偿方法。研究显示，镜子自重和冷却装置的重力对压弯镜面形的影响主要表现为柱面镜母线的弯曲，驱动杆重力对压弯镜面形的影响主要体现在子午斜率误差上。利用重力平衡方法对压弯镜面形误差进行补偿，结果显示，柱面镜母线产生的斜率误差均方根值由13.14μrad减小到0.15μrad，镜面在子午方向的斜率误差均方根值由8.21urad减小到0.86rad。由此表明，压弯镜面形误差分析及补偿方法行之有效，显著提高了水平偏转压弯镜的面形精度。
关键调：同步辐；压机构；水平偏转；面形误差；补偿
中图分类号：TH744.1
文献标识码：A
doi;10.3788/OPE.20111911.2644
Analysisandcompensationofslopeerrorforsynchrotron
radiationhorizontaldeflected mirror LU Qi-peng 1+,GAO Sa-sa 1.2,PENG Zhong-qi
(l.StateKeyLaboratoryofAppliedOptics，ChangchunInstituteofOptics，FineMechanics
andPhysics,ChineseAcademyofSciences,Changchun130033,China
2.GraduateUniversity of ChineseAcademyof Sciences,Beijing100039,China)
*Correspondingauthor，E-mail:luqp@ciomp.ac.cn
Abstract: To improve the precision of a bending mirror and to reduce the influence of a horizontal de flected bender and the mirror weight on the bending mirror,the factors that caused the slope errors were studied and a gravity compensation scheme for the horizontal deflected bender was presented. Firstly, the slope errors were studied on the basis of bending theory. Aiming at the bending focusing mirror used in the beamline, the main factors that affected its precision were analyzed by finite ele ment method. Then, according to the characteristics of the horizontal deflected bender and the results of slope error analysis,a scheme was carried out to compensate the slope errors, The results indicate
收稿日期：2010-12-31；修订日期：2011-02-15.
基金项目：国家自然科学基金资助项目（No，11079035）；应用光学国家重点实验室开放基金资助项目（No.
O9Q33FQ091)