JY/T 0583-2020
聚焦离子束系统分析方法通则
General analytical rules for the focused ion beam system
2020-12-01 实施
2020-09-29发布
目 次
前育………….…………………………………………………………………………………………… 1
1 范围………………………………………………………………………………………………………… 1
2 术语和定义………………………………………………………………………………………………… 1
3 分析方法原理……………………………………………………………………………………………… 1
4 分析环境要求……………………………………………………………………………………………… 2
5 仪器………………………………………………………………………………………………………… 2
6 样品…………………………………………………………………………………………………………3
7 分析测试……………………………………………………………………………………………………3
8 结果报告…………………………………………………………………………………………………… 5
9 安全注意事项………………………………………………………………………………………………5
参考文献 ………………………………………………………………………………………………………7
前 言
本标准按照GB/T1.1—2009 给出的规则起草。
本标准由中华人民共和国教育部提出。
本标准由全国教育装备标准化技术委员会化学分技术委员会（SAC/TC 125/SC5）归口。