JJF（苏）236-2020
原子力显微镜校准规范
Calibration Specifieation forAtomic Force Microscope
2020-12-01 实施
2020-09-07 发布
引 言
本规范依据 JJF 1071《国家计量校准规范编写规则》编制，规范中的通用计量术语符合 JJF 1001《通用计量术语及定义》，附录中的测量不确定度示例依据 JJF 1059《测量不确定度评定与表示》评定。
本规范主要参考GB/T 27760-2011《利用Si（111）晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法》、GB/T 19067.1-2003《产品几何量技术规
范（GPS）表面结构 轮廓法 测量标准 第1部分;实物测量标准》、1F1351-2012《扫描探针显微镜校准规范》等编制而成。
本规范为首次发布。