内容简介
T/CCGA 30003-2019超纯三氟化氮
Ultra pure nitrogen trifluoride
2019 -10-29发布
2020-01- 29实施
目 次
前言 ................................................................................1
1 范围 .............................................................................. 1
2 规范性引用文件 .................................................................... 1
3 技术要求 .......................................................................... 1
4 试验方法 .......................................................................... 1
5 包装、标志、贮运及安全 ............................................................ 4
6 安全警示 .......................................................................... 5
附录 A（资料性附录） 切割气路流程示意图.............................................. 6
附录 B（规范性附录） 酸度（以 HF 计）的测定........................................... 7
参考文献 ............................................................................. 9
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本标准由中国工业气体工业协会提出并归口。