GB/T 40577-2021 集成电路制造设备术语_标准规范免费下载

资料类别：国家标准

文档格式：PDF电子版

文件大小：3.16 MB

资料语言：中文

更新时间：2021-11-11 13:59:46

GB/T 40577-2021
集成电路制造设备术语
Terminology for integrated circuit(IC) manufacturing equipment
2021-10-11发布
2022-05-01实施

前言 …………………………………………………………………………………………………………1

１范围 ……………………………………………………………………………………………………… １

２规范性引用文件 ………………………………………………………………………………………… １

３基础术语 ………………………………………………………………………………………………… １

４晶体生长加工设备 ……………………………………………………………………………………… ２

５掩模制造设备 …………………………………………………………………………………………… ５

６光刻与刻蚀设备 ………………………………………………………………………………………… ８

７掺杂设备………………………………………………………………………………………………… １５

８薄膜淀积设备…………………………………………………………………………………………… １７

９清洗设备………………………………………………………………………………………………… ２３

１０封装设备 ……………………………………………………………………………………………… ２４

１１检测设备 ……………………………………………………………………………………………… ２７

１２公用部件 ……………………………………………………………………………………………… ３４

参考文献 …………………………………………………………………………………………………… ３７

索引 ………………………………………………………………………………………………………… ３８

前言

本文件按照ＧＢ／Ｔ１．１—２０２０《标准化工作导则第１部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（ＳＡＣ／ＴＣ２０３）提出并归口。

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