GB/T 34177-2017
光刻用石英玻璃晶圆
Quartz glass wafer for lithography
2018-08-01 实施
2017-09-07 发布
前 言
本标准按照 GB/T 1.1—2009 给出的规则起草。
本标准由中国建筑材料联合会提出。
本标准由全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会（SAC/TC 447）归口。