GB/T 34612-2017
蓝宝石晶体X射线双晶衍射摇摆曲线测量方法
Measurement method for X-ray double crystal diffraction rocking curve of sapphire crystals
2018-05-01 实施
2017-10-14 发布
本标准按照 GB/T 1.1-2009 给出的规则起草。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC 203）与全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会（SAC/TC 203/SC 2）共同提出并归口。