GB/T 5226.33-2017/IEC 60204-33:2009
机械电气安全机械电气设备第33部分∶半导体设备技术条件
Electrical safety of machinery—Electrical equipment of machines— Part 33:Requirements for semiconductor fabrication equipment (IEC60204-33:2009,Safety of machinery—Electrical equipment of machines- Part 33:Requirements for semiconductor fabrication equipment,IDT)
2018-05-01 实施
2017-10-14 发布
前 言
GB/T 5226《机械电气安全 机械电气设备）拟分成部分出版，已经发布如下几部分，
——第 1 部分∶通用技术条件;
——第 6 部分∶建设机械技术条件;
——第11部分∶电压高于1000 Vac.或1500 Vd.c.但不超过36 kV的高压设备的技术条件;
——第 31 部分∶缝纫机、缝制单元和系统的特殊安全和电磁兼容性方面的要求;
——第 32 部分;起重机械通用技术条件;
——第 33 部分∶半导体设备技术条件。
本部分为 GB/T 5226 的第 33 部分。
本部分按 GB/T 1.1—2009 给出的规则起草。
本部分使用翻译法等同采用IEC6020433;2009（机械安全 机械电气设备 第33部分;半导体设