GB/T 34504-2017
蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量方法
Measurement method for surface metal contamination on sapphire polished substrate wafer
2018-05-01 实施
2017-10-14发布
本标准按照GB/T 1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）与全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会（SAC/TC203/SC 2）共同提出并归口。