GB/T 37053-2018
氮化稼外延片及衬底片通用规范
General specification for epitaxial wafers and substrates based on gallium nitride
2019-07-01实施
2018-12-28发布
本标准按照 GB/T 1.1—2009给出的规则起草。
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本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）与全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会（SAC/TC203/SC 2）共同提出并归口。