GB/T 38976-2020
硅材料中氧含量的测试惰性气体熔融红外法
Test method for the oxygen concentration in silicon materials—Inert gas fusion infrared detection method 2021-06-01实施
2020-07-21发布
前 言
本标准按照GB/T 1.1—2009 给出的规则起草。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）与全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会（SAC/TC 203/SC2）共同提出并归口。