GB/T 37959-2019
含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型
Information model for containing process chamber IC equipment design
2019-08-30发布    
2020・03・01实施
目 次
前言.........................................1
1范围........................................1
2术语和定义.....................................1
3缩略语.......................................2
4模型体系......................................2
4.1含工艺腔室类集成电路装备建模仿真设计过程的一般规定..............2
4.2含工艺腔室类集成电路装备建模仿真设计软件平台结构体系.............3
5含工艺腔室类集成电路装备建模仿真设计信息模型....................4
5.1概念模型...................................4
5.2要素.....................................4
5.3 关系....................................5
5.4信息模型元素.................................5
附录A （资料性附录）含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型示例...........13