GB/T 37959-2019
含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型
Information model for containing process chamber IC equipment design
2020-03-01实施
2019-08-30发布
目 次
前言…………………………………………………………………………………………………1
1 范围 ……………………………………………………………………………………………………… 1
2 术语和定义 ……………………………………………………………………………………………… 1
3 缩略语 ………………………………………………………………………………………………2
4模型体系 …………………………………………………………………………………………………2
4.1 含工艺腔室类集成电路装备建模仿真设计过程的一般规定 …………………………………… 2
4.2 含工艺腔室类集成电路装备建模仿真设计软件平台结构体系 ………………………………… 3
5 含工艺腔室类集成电路装备建模仿真设计信息模型 ………………………………………………… 4
5.1 概念模 …………………………………………………………………………………………… 4
5.2 要素……………………………………………………………………………………………… 4
5.3 美系 ………………………………………………………………………………………………… 5
5.4 信息模型元素 ……………………………………………………………………………………… 5
附录A（资料性附录） 含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型示例……………………………… 13
前 言
本标准按照GB/T 1.1—2009给出的规则起草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。
本标准由中国机械工业联合会提出。
本标准由全国自动化系统与集成标准化技术委员会（SAC/TC159）归口.