ICS 77.120.99 H 68
GB
中华人民共和国国家标准
GB/T26307—2010
靶
银
Silver target
2011-11-01实施
2011-01-14发布
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会
发布
数码防伪 GB/T 26307—2010
前言
本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243)归口。 本标准由北京有研亿金新材料股份有限公司负责起草。 本标准主要起草人：闫琳、杨华、李蕊、杨永刚、雷继锋、熊晓东、江轩。
I GB/T26307-—2010
银
靶
1范围
本标准规定了银靶的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明书与订货单（或合同)内容。
本标准适用于半导体器件用的各类银溅射靶材（以下简称银靶）。其他用途的靶材也可参照使用。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB/T4135银 GB/T 6394 金属平均晶粒度测定方法 GB/T11067 银化学分析方法 GB/T15077 贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法
3要求
3.1产品分类
银靶的类型按化学成分为IC-Ag99.99一种。 银靶的形状和尺寸主要由设备基台确定，外形主要为圆形、矩形和异型。
3.2化学成分
银靶IC-Ag99.99的化学成分应符合GB/T4135的规定。需方对某种特定杂质元素含量有要求的，由供需双方协商确认。 3.3晶粒度
银靶的横向平均晶粒度应在50μm~150μm。 3.4外观质量
银靶表面应无凹坑、划伤、裂纹、凸起等缺陷；无润滑痕迹、颗粒附加物和其他沾污；应清洁光滑，无指痕，无油污和锈蚀。 3.5表面粗糙度
银靶表面粗糙度Ra值应不大于1.6μm。 3.6几何尺寸 3.6.1圆形银靶的直径Φ主要有：25mm、50mm、100mm、150mm、200mm、300mm，厚度通常为 3mm~35mm。
1 GB/T26307—2010
3.6.2矩形银靶的尺寸主要有：152mm×76.2mm、680mm×90mm、376mm×40mm，厚度通常为 3mm~35mm 3.6.3银靶的尺寸及其允许偏差应符合表1的规定。经双方协商，可提供其他规格及允许偏差的银靶。
表 1
单位为毫米允许偏差
矩形 50~<120 120~<400 400~700
圆形中 25~<120 120~300
允许偏差 ±0.15 ±0. 2
厚度
允许偏差 ±0.15 ±0.2 ±0. 3
3~35
±0. 1
4 试验方法
4.14 银靶IC-Ag99.99的化学成分的分析方法按GB/T11067（所有部分）的规定执行。 4.2 晶粒度的检测采用现场金相或取样检测。现场金相的检测方法见附录A，取样检测按GB/T6394 的规定进行。 4.3外观质量用目视检查，如发现异常现象，在10倍放大镜条件下进行目视检查。 4.4表面粗糙度由粗糙度仪检测。 4.5 银靶几何尺寸的测量按GB/T15077的规定进行。
5检验规则 5.1 检验和验收 5.1.1产品应由供方检验部门进行检验，保证产品质量符合本标准（或订货合同）的规定，并填写质量证明书。 5.1.2需方应对收到的产品按本标准的规定进行复验。如复验结果与本标准（或订货合同）的规定不符时，应在收到产品之日起三个月内向供方提出，由供需双方协商解决。如需仲裁，仲裁取样应由供需双方在需方场所共同进行。 5.2组批
产品应成批提交验收。每批应由同一投料批、同一规格的产品组成。
5.3检验项目及取样
检验项目、取样位置及数量应符合表2的规定。
表 2 取样数量
检验项目
取样位置
要求的章条号
检验的章条号
按铸锭数量的20%进行抽检，但不少于1个铸锭；每铸锭取1个样
化学成分
铸锭缩孔下
3. 2
4. 1
2 GB/T26307—2010
表2（续）
检验项目晶粒度外观质量 任意部位表面粗糙度 任意部位几何尺寸
要求的章条号 检验的章条号
取样位置
取样数量
机加工前靶坏溅射面任意 按成品数量的10%进行抽部位
3. 3 3. 4 3. 5 3. 6
4. 2
检，但不少于1个逐件按成品数量的10%进行抽检，但不少于1个逐件
4. 3
4. 4 4. 5
5.4检验结果的判定 5.4.1化学成分不合格时，判该锭不合格。重新取双倍数量的铸锭取样进行检验，若仍有不合格，则判该批不合格。 5.4.2晶粒度不合格时，重新取双倍样进行重复试验，重复试验若仍有不合格，则判该批不合格。 5.4.3外观质量不合格时，判该件产品不合格。 5.4.4表面粗糙度不合格时，重新取双倍样进行检验，若仍有不合格，判该批产品不合格。但允许将剩余产品逐件检验，合格者重新组批交货。 5.4.5几何尺寸不合格时，判该件产品不合格。
6标志、包装、运输、购存
6.1标志
在已检验合格的每块银靶上进行如下标记： a）产品名称； b）纯度； c) 规格； d) 批号。
6.2 包装、运输和贮存 6.2.1产品用防静电塑料袋真空封装，并放在防止碰撞的包装盒内。 6.2.2 每块产品应附标签，注明：产品名称、纯度、规格、净重、批号、生产日期、供方名称、生产厂家地址电话。 6.2.3 3产品运输过程中应防止碰伤、擦伤，不得损坏和沾污产品，并保证运输过程中靶材完整。 6.2.4产品应保存于清洁、干燥的环境中。 6.3质量证明书
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每批产品应附有质量证明书，注明下列内容： a） 客户名称； b) 供方名称； c) 产品名称； d) 纯度；
3 GB/T 26307--2010
e) 规格； f) 数量； g) 净重; h) 批号； i) 检测报告和技术监督部门印记； j) 生产日期； k) 执行标准号。 订货单(或合同)内容订购本标准所列产品的订货单(或合同)内应包括下列内容： a) 产品名称； b) 纯度； c) 规格； d) 数量； e) 执行标准号； f) 其他。
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