ICS 81.040.10 CCS Q33
JC
中华人民共和国建材行业标准
JC/T 2201—2022 代替JC/T2201—2013
镀膜玻璃用靶材
Targets for coated glass
2022-09-30发布
2023-04-01实施
中华人民共和国工业和信息化部发布 JC/T2201—2022
前言
本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则 可第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。
本文件代替JC/T2201一2013《镀膜玻璃用靶材》，与JC/T2201一2013相比，除结构调整和编辑性改动外，主要技术变化如下：
a）删除了氧化物靶材失氧率的要求（见5.6，2013年版的5.6)； b）合并了化学式和成型方法，更改了杂质元素含量的单位，增加了序号列，提高了部分靶材纯度
要求，调整了靶材种类（见表1，2013年版的表1)；合并了化学式和成型方法，调整部分靶材的密度要求（见表2，2013年版的表2)；
c)
d) 删除了喷涂靶材中对平面靶材的孔洞要求，提高了粉末冶金靶材的表面孔洞要求（见表3，2013
年版的表3)； e) 增加了平面邦定靶材和旋转邦定靶材的邦定质量要求（见5.4)： f) 增加了常用熔铸靶材的晶粒度和均匀性（见5.6)； g) 增加了氧化锆和氧化锯的电阻率要求（见5.7)； h) 更改了内部缺陷要求，被检测面积应大于靶材溅射面总面积的5%修改为应包含靶材的所有溅
射面积，邦定靶材包含所有粘结面积（见6.4，2013年版的6.4)； i) 删除了氧化物靶材失氧率的检验方法，增加了熔铸靶材的晶粒度和均匀性的检验方法（见6.6，
2013年版的6.6)； j）增加了喷涂旋转靶材的电阻率的检验方法（见6.7.2)； k）增加了组批和检验项目（见7.2)。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由中国建筑材料联合会提出。 本文件由全国建筑用玻璃标准化技术委员会（SAC/TC255)归口。 本文件起草单位：河北冠靶科技有限公司、东莞市欧莱溅射靶材有限公司、新福兴玻璃工业集团有
限公司、中国建筑玻璃与工业玻璃协会、宁波森利电子材料有限公司、上海耀皮玻璃集团股份有限公司、 梭莱镀膜工业（江阴)有限公司、中力玻璃有限公司、株洲旗滨集团股份有限公司、常州亚玛顿股份有限公司、中国南玻集团股份有限公司、青岛锦绣前程节能玻璃有限公司、秦皇岛玻璃工业研究设计院有限公司。
本文件主要起草人：温艳玲、文宏福、田永刚、杨、吴斌、葡裕平、汤传兴、曾小绵、林金锡、 黄成德、樊义平、张中美、陈玉平、程亦、林庆中、刘国东、贾立丹。
本文件所代替文件的历次版本发布情况为：
-本文件于2013年首次发布，本次为第一次修订。
I JC/T2201—2022
镀膜玻璃用靶材
1范围
本文件规定了镀膜玻璃用靶材的分类、要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、运输和贮存。 本文件适用于建筑用真空磁控溅射镀膜玻璃使用的靶材，其他镀膜玻璃用靶材可参照使用。
2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款，其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB/T 191 包装储运图示标志 GB/T1031 产品几何技术规范（GPS）表面结构轮廓法表面粗糙度参数及其数值 GB/T1423 贵金属及其合金密度的测试方法 GB/T4472一2011化工产品密度、相对密度的测定 GB/T5163 烧结金属材料（不包括硬质合金）可渗性烧结金属材料密度、含油率和开孔率的测定 GB/T6679—2003固体化工产品采样通则 GB/T7234产品几何量技术规范（GPS） 圆度测量术语、定义及参数 GB/T 7235 产品几何量技术规范(GPS) 评定圆度误差的方法半径变化量测量 GB/T8170-2008数值修约规则 GB/T 11336 直线度误差检测 GB/T11337 平面度误差检测 GB/T14265 金属材料中氢、氧、氮、碳和硫分析方法通则 GB/T20967 无损检测目视检测总则 GB/T31838.2 固体绝缘材料介电和电阻特性第2部分：电阻特性（DC方法）体积电阻和体积
电阻率
3术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
3. 1
磁控溅射镀膜 magnetronsputteringcoating 真空环境中，在电场及磁场的作用下，靶材被气体辉光放电产生的荷能离子轰击，粒子从其表面被
溅射出，在镀膜基体表面沉积或反应成膜的工艺过程。 3. 2
靶材 fsputteringtarget 被高速荷能离子轰击的，可在镀膜基体表面沉积或反应成膜的固体材料。
1 JC/T2201—2022 3. 3
靶材密度 targetdensity 每单位体积靶材的质量。 注：单位为克每立方厘米（g/cm）。
3. 4
靶材理论密度 targettheoreticaldensity 单一结构材料的理论密度为结晶学密度，合金或混合物靶材的理论密度是通过设计配比的各组元所
占质量比例，根据其理论密度计算得出。
注：单位为克每立方厘米（g/cm）。
3. 5
靶材相对密度 targetrelativedensity 靶材密度与理论密度的比值。
3. 6
熔铸靶材 fcasttarget 熔化后浇注入铸型中冷却成型，经后续加工制成的靶材。
3.7
喷涂靶材 fsprayedtarget 将原材料加热至熔融或半熔融高塑性状态，在外加气体或焰流本身的推力下，雾化并高速喷射向衬
管或衬板表面冷凝沉积制成的涂层靶材。 3. 8
粉末冶金靶材 fpowdermetallurgytarget 将金属或非金属粉末成型、烧结，再加工制成的靶材。
3. 9
靶材邦定 targetbonding 利用低熔点金属或有机材料作为粘结剂将靶管/靶块焊接或粘结在衬管/衬板上的靶材制备工艺。
4分类
4.1按溅射面的形状，靶材可分为旋转靶材、平面靶材和异型靶材。旋转靶材有直靶和骨状靶两种形状。平面靶材包括矩形平面靶和圆形平面靶。异型靶材为不规则溅射面的靶材。 4.2按靶材的主要成分，可分为金属靶材和非金属靶材。其中，非金属靶材包括氧化物靶材和非氧化物靶材。 4.3按靶材的成型工艺，可分为熔铸靶材、喷涂靶材和粉末冶金靶材。 4.4按靶材的支撑结构型式，可分为有衬管/衬板型和无衬管/衬板型（又称整体型)两种。
5要求
5.1化学成分 5.1.1常用靶材的种类、纯度、主要成分、金属杂质元素含量和非金属杂质元素含量应符合表1的规定。 5.1.2特殊成分的靶材由供需双方协商确定。
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8000 00> 200>5 0 10 : 5 2 60'0 09°0o1 090010 002 00010 0f0 o10 os0 090 10 0 o1'0
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