超高真空
作　者： 崔遂先，王荣宗 著
出版时间： 2013
丛编项： 真空科学技术丛书
内容简介
　　《真空科学技术丛书：超高真空》共分6章。比较全面系统地阐述了超高真空技术涉及的气体分子运动的经典理论、主要常用公式，各类超高真空扩散泵、涡轮分子泵、溅射离子泵、低温泵，超高真空阀门、挡板等元部件，超高真空测量，超高真空系统设计及维护运转。《真空科学技术丛书：超高真空》可供从事超高真空技术工作的专业技术人员、操作人员使用，亦可作为大专院校师生的参考书。
目录
第1章 超高真空技术概述
1.1 气体分子热运动速度
1.2 气体分子的平均自由程λ
1.3 气体分子碰撞次数
1.3.1 气体分子之间（或电子与气体分子间）的碰撞次数
1.3.2 分子与器壁碰撞数（碰撞频度）
1.4 气体压力
1.5 表面形成单分子层的时间
1.6 气体分子在材料表面的吸附
1.6.1 物理吸附速率方程
1.6.2 化学吸附速率方程
1.7 脱附速率
1.7.1 一级脱附速率
1.7.2 二级脱附速率
1.8 吸附等温线（平衡状态下吸附量）
第2章 超高真空泵
2.1 超高真空油扩散泵
2.1.1 超高真空油扩散泵的极限压力
2.1.2 泵的返油率
2.1.3 挡油帽
2.1.4 挡板
2.1.5 冷阱
2.1.6 气体的反扩散
2.1.7 扩散泵油
2.1.8 扩散泵油分馏装置
2.1.9 扩散泵的抽气速率
2.1.10 扩散泵临界前级压力
2.1.11 扩散泵的加热功率
2.1.12 扩散泵的不稳定性
2.2 涡轮分子泵
2.2.1 涡轮分子泵的结构、抽气原理
2.2.2 分子泵的抽速和压缩比
2.2.3 涡轮分子泵极限压力
2.2.4 涡轮分子泵轴承及动平衡
2.2.5 涡轮分子泵操作与运转