多晶硅生产技术：项目化教程
作　者： 刘秀琼、唐正林 主编
出版时间： 2013
内容简介
　　本书主要讲述了改良西门子法生产多晶硅的制备原理及生产过程。内容包括三氯氢硅的合成、精馏提纯；三氯氢硅氢还原制备高纯硅、尾气干法回收、硅芯的制备等核心内容，同时对气体的制备与净化、四氯化硅的综合利用与处理、纯水的制备、硅烷法制备高纯硅做了详细介绍。本书紧密结合生产实践，注重了理论与实践的有机结合。本书可作为本科和高职院校太阳能光伏产业硅材料专业教材，同时也可作为中专、技校和从事多晶硅生产的企业员工的培训教材，还可供相关专业工程技术人员学习参考。
目录
绪论0.1 改良西门子法生产多晶硅0.2 其他多晶硅生产方法项目一 气体的制备与净化任务一 气体的制备任务二 气体净化小结习题和思考题 项目二 三氯氢硅的合成任务一 液氯汽化任务二 氯化氢的合成任务三 三氯氢硅的合成小结习题和思考题 项目三 三氯氢硅精馏提纯任务一 精馏提纯原理及相关计算任务二 精馏提纯设备任务三 精馏提纯工艺任务四 精馏提纯操作任务五 设备、管道的检修任务六 故障处理任务七 三氯氢硅中杂质含量的分析小结习题和思考题 项目四 三氯氢硅氢还原制备高纯硅任务一 三氯氢硅氢还原工作原理 任务二 三氯氢硅氢还原工艺、核心设备结构及操作任务三 设备、管道保养与维护任务四 还原工序常见故障判断与处理任务五 三氯氢硅氢还原工序产品质量要求及控制任务六 还原生产中热能的综合利用任务七 高纯材料及半导体相关知识小结习题和思考题 项目五 尾气干法回收任务一 还原尾气干法回收的基本原理任务二 还原尾气干法回收工艺流程任务三 尾气干法回收主要设备任务四 设备准备及安全检查任务五 尾气干法回收原辅材料准备任务六 尾气干法回收关键及核心设备操作任务七 尾气回收故障处理任务八 设备、管道保养与维护小结习题和思考题 项目六 四氯化硅的综合利用与处理任务一 四氯化硅的性质任务二 四氯化硅氢化回收任务三 四氯化硅处理的其他技术小结习题和思考题 项目七 硅芯的制备与腐蚀任务一 硅芯的制备任务二 硅芯腐蚀小结习题和思考题 项目八 纯水的制备任务一 纯水制备原理任务二 纯水制备工艺流程任务三 纯水制备系统主要设备及工作原理任务四 纯水制备系统操作任务五 纯水的测量任务六 其他纯水制备法及流程小结注释习题和思考题 项目九 硅烷法制备高纯硅任务一 硅烷的性质任务二 原料的制取及处理任务三 硅烷的发生任务四 硅烷的提纯任务五 硅烷热分解制备多晶硅小结习题和思考题参考文献