摘要∶采用RenishawXL80激光干涉仪检测液体静压导轨运动的直线度误差，对直线度误差和干涉测量的原理进行了探讨。并在不同环境下进行直线度误差测量，根据测量结果做出了直线运动偏差特性曲线。对测得的多组数据进行分析，消除了系统误差，进行了正态性检验，剔除了粗大误差，得出了基于t分布的表达方式并进行了t检验。检验结果表明，导轨直线度误差约为2.791μm/360mm，且在振动小、噪声小、光照弱、安静的环境下直线度误差较小，测得的数据较准确。