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线切割单、多晶硅机床砂浆液调配的研究

资料类别:机械工程

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资料语言:中文

更新时间:2020-09-01 17:08:35



推荐标签: 砂浆 机床 多晶硅 线切割 研究 调配

内容简介

线切割单、多晶硅机床砂浆液调配的研究 摘要∶线切割机对硅片切割能力的强弱,与砂浆的粘度有着不可分割的关系。而砂浆的粘度又取决于硅片 切割液的粘度、硅片切割液与碳化硅微粉的适配性、硅片切割液与碳化硅微粉的配比比例、砂浆密度等。只有达到机器要求标准的砂浆粘度,才能在切割过程中提高切割效率和成品率。
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