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线切割单、多晶硅机床砂浆液调配的研究
线切割单、多晶硅机床砂浆液调配的研究
资料类别:机械工程
文档格式:PDF电子版
文件大小:220 KB
资料语言:中文
更新时间:2020-09-01 17:08:35
推荐标签:
砂浆
机床
多晶硅
线切割
研究
调配
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内容简介
摘要∶线切割机对硅片切割能力的强弱,与砂浆的粘度有着不可分割的关系。而砂浆的粘度又取决于硅片 切割液的粘度、硅片切割液与碳化硅微粉的适配性、硅片切割液与碳化硅微粉的配比比例、砂浆密度等。只有达到机器要求标准的砂浆粘度,才能在切割过程中提高切割效率和成品率。
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线切割导轮拆装与调整对机床性能的影响
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