内 容 简 介
本书是在电子光学的基础上，系统地介绍电子光学在电子束器件和电子光学仪器及装量中的应用，并介绍了电子束器件、电子光学仪器和装置的结构、组成、工作原理、特性以及它们在各种场合的应用。
全书共分三个部分。第一部分为第一章，介绍了电子光学仪器与电子束器件的基本部件;第二部分包括第二至第五章。介绍了各种显示与摄像器件的工作原理、电子光学特性与结构特点及其应用，第三部分包括第六至第九章，介绍了透射电子显微镜和扫描电子显微镜两种大型表面分析仪器的工作原理、组成结构、电子光学特性及应用;电子束曝光机和电子束加工技术的应用;离子注入机和离子注入技术应用等。
本书是为物理电子与器件专业编写的教材，也可供其他工科院校从事电真空器件、光电成像、材料分析等领域的科技工作者和大专院校研究生作参考书用。