内容简介
《电子工业技术词典》是在一九六四年出版的《无线电工业技术词典》（试用本》的基础上作了较大修改和增补而编写的。本《诃典》是一本为广大工农兵用干部提供的深入没出、简明实用的工具书。它也可供从事某个口体专业的科技人员在了解电子工业整个领域的全貌、扩大知识面时参考。
本《词典》共有三十四章。正文中各词汇后附有英文对照，书末附有英文索引，合订本中还附有汉字笔画索引。在出版合订本之前，将先分册出版。各分册所包括的章节内容和出版先后次序，将视具体情 况而定。
本分册是《词典》第三十二章专用工艺改备与净化技术的内容，它包括∶真空设备，电子束、离子束、激光加工设备，真空镀膜设备，排气设备，加热设备，焊接设备，光刻、掺架设备，材料、零部件制造设备，分析测试设备，例行试验及其它设备，净化技术。