前 言
集成电路技术是当今世界上发展最快的高技术之一.作为信息技术的基础，它推动着计算机、通信、消费电子等设备和系统的不断更新换代，催化着人类信息化社会的发展.
在行将跨人21世纪之际，在强劲的信息市场推动下，特大规模集成（ULSI）技术的发展方兴未艾，CMOS特征线宽已达到深亚微米，并向0.1um和亚0.1lyμm 推进;为满足多媒体系统智能处理的需要，集成系统芯片SOAC（system on a chip）技术正在迅速发展.ULSI技术在器件、电路、系统各级和工艺、设计、测试各层次，每年都有大量的创新成果涌现.及时地把有益材料汇总，加以适当的分析，介绍给我国的广大电子信息科技工作者和相应学科的大学生无疑是有重要意义的.但这不是一件容易的事，因为不仅涉及的资料量大面广，而且进展日新月异.本书编著的目标是在某几个专题上给有关读者提供一些学习上的帮助，以便他们能较快地了解和进一步深人这一学科的前沿。