摘要 ：
介绍一种基于 MEMS 技术的倾角传感器 SCA103T 的基本工作原理，利用 MSC1214 单片机通过硬件电路设计，结合软件补偿的办法实现的数字式倾角传感器可适用于 ±30°的大角度测量。实验表明其非线性度 <1FS%，零点输出 < 0.05° ；零位电压 < 5mv ；零点漂移 < 0.02° /h。