
2015年第6期(总第210期)
doi :10.3969/j. issn. 1009 3230.2015.06.002
应用能源技术
蓝宝石单晶生长技术的现代趋势和应用进展
莫东鸣
(重庆工业职业技术学院机械工程学院,重庆401120)
摘要:经过一个多世纪的发展,蓝宝石单晶因其优良的综合性能得到了广泛的应用。文中综述了蓝宝石的新应用,简述了蓝宝石单晶的主要生长方法及各制备方法的适用场合;介绍了我国蓝宝石单晶的主要生长厂家及采用的方法;最后提出了优化蓝宝石单晶生长在行业应采取的措施。
关键词:蓝宝石单晶;提拉法;泡生法;热交换法;导模法;生长方法
文章编号:10093230(2015)06000706
中图分类号:TD875.1
文献标志码:B
Modern Trends and New Applications of Sapphire Single
CrystalGrowthTechnique
MODong-ming
(Department of Mechanical Engineering, Chongqing Industry Polytechnic College,
Chongqing401120,China)
Abstract: Through being developed for more than a century, sapphire crystal has been widely used owing to a series of good physical and chemical properties. This review represents the major properties of sapphire single crystal. The growth methods and recent work on the sapphire single crystal are reviewed. The advantages and disadvantages of different growth methods are analyzed. The main manufacturers and the methods of sapphire single crystal growth in our country are introduced.The measures to optimize sapphire single crystal growth in the industry are presented.
Key words: Sapphire single crystal; Czochralski method; Edge defined film fed growth method; Heat exchanger method; Growth methods
0引言
蓝宝石所具有的独特的集物理、化学、光学、电子和机械特性使其大范围适用于工业、科学和珠宝产业,特别是成为LED发光二极管、大规模集成电路SOI、SOS及超导纳米结构薄膜等最理想的衬底材料。蓝宝石除了可用来作为基底材料之外,还可用其制造其它有源装备。对用于发光
收稿日期:2015-05-18
修订日期:20150528
基金项目:重庆市教委科学技术研究项目(自然科学类)
(KJ132104),第二批重庆市高等学校青年骨干教师资助计划(自然科学类);重庆工业职业技术学院科研项目(GZY201313)
作者简介:莫东鸣(1982-)女,博士,讲师,主要从事晶体生
长过程流体稳定性的研究。
万方数据
7
晶体Al,O,本身或杂质缺陷的研究拓展了蓝宝石许多新的应用。红宝石和掺钛蓝宝石激光晶体就是历史上熟知的例子。随着世界各国对蓝宝石生长技术推广应用的重视,大尺寸、高质量的蓝宝石晶体的需求迅速增长,促使蓝宝石晶体的研究与生长成为目前最具发展活力的产业之{]。
1蓝宝石晶体的新应用 1.1蓝宝石基片和村底
蓝宝石单晶最常用的用途就是作为红外光学材料、电子器件和高温超导薄膜的基片和衬底材料,尤其是近年来在LED领域大放异彩。LED具有寿命长、效率高,配套电路简单等优点,应用涉