第26卷第10期 2018年10月
1004-924X(2018)10-2407-08
文章编号
光学精密工程
Optics and Precision Engineering
Vol, 26No. 10
Oet.2018
Yb：LuScO3晶体的超精密光学加工及其激光性能
沈冯峰1.2，徐学科1.3·，高文兰3，于浩海*，张龙"，邵建达12
（1.中国科学院上海光学精密机械研究所强激光材料重点实验室，上海201800；
2.中国科学院大学，北京100049；
3.上海恒益光学精密机械有限公司，上海201800；
4.山东大学晶体材料国家重点实验室，山东济南250100）
摘要：Yb：LuScO,晶体作为固体激光器的新型增益介质，其面形和表面质量严重影响激光器的光束质量，因此探索Yb：LuScO,晶体的趣精度光学加工工艺参数具有重要意义，本文系统开展了Yb：LuScO，晶体超精密光学加工的工艺参数研究，针对Yb：LuSc()，品体在加工过程中容易破裂和表面质量较差的间题.提出了拼接上盘和树脂铜盘抛光垫的关键技术，首先，使用COMSO)I，Multiphysics有限元软件对拼接工艺中选取的不同保护垫料的应力进行伤真，接着，研磨阶段逐步减小B,C磨料的粒径。然后，粗糙阶段使用树脂铜盘作为抛光垫，并对树脂钢盘抛光垫的作用进行了分析。最后，使用激光二极管系浦加工好的样品进行激光输出实验。实验结果表明：基于该技术加工后的晶体表面粗稳度 RMS=0.296nm，面形精度PV=53nm。在1086nm处获得了8.3W的连续激光输出，斜效率为58%。该加工方法可以广泛应用于Yb：LuSeO晶体的高精度加工。
关
词：光学加工；Yb：LuScO,：表面面形；表面粗鞋度；树脂钢盘
中图分类号：0614.346；TG580.692
文献标识码：A
doi;10,3788/OPE.20182610.2407
Ultra-precisionopticalmanufactureandlaserperformance
of Yb:LuScOs crystal
SHEN Feng-feng'-, XU Xue-ke'-s, GAO Wen-lan", YU Hao-hai', ZHANG Long', SHAO Jian-da'-?
(l.Key Laboratory of Materials for High Power Laser, Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics,Chinese Academy of Sciences,Shanghai 201800,China;
2.University of Chinese Academy of Sciences,Beijing 100049,China;
3.Shanghai Hengyi Optics and Fine Mechanics Co.,Ltd,Shanghai 201800,China;
4.StateKeyLaboratory ofCrystal Materials,ShandongUniversity,Jinan250100,China)
*Corresponding author,E-mail ;rurk@siom.ac.cn
Abstract: Yb:LuScO, crystal is a new type of gain medium used in solid-state lasers. The surface pro-file and surface quality of the Yb: LuScO, crystal affect the characteristics of the output laser beam sig nificantly. Therefore, it is extremely important to explore the processing parameters for its ultrapreci sion optical manufacture. In this paper, & systematic study of the processing parameters for the optical
收稿日期：2018-03-21；修订日期：2018-04-25，
基金项目：科技部增材制造与激光制造重点专项(No,2016YFB1102300)