DB31/ 506-2020 代替DB31/506-2010
集成电路晶圆制造单位产品能源消耗限额
The norm of energy consumption per unit product of wafer fabrication in integrated circuits
2020-12-01实施
2020-09-25发布
前言
本文件4. 1、4.2为强制性条款，其余为推荐性条款。
本文件按照GB/T 1.1-2020《标准化工作导则 第1部分∶标准化文件的结构和起草规则》的规定起草;
本文件代替DB31/506-2010《集成电路晶圆制造能耗限额》。本文件与DB31/506-2010相比，除编辑性修改外，主要技术变化如下∶
a）修改了标准名称;
b）修改了计算方法（见第5章，2010年版的第4章）;
c）修改了集成电路晶圆制造能耗限额，改为技术要求（见第4章，2010年版的第5章、第6章）;
d）增加资料性附录A（见附录A）。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由上海市发展和改革委员会、上海市经济和信息化委员会共同提出，由上海市经济和信息化委员会组织实施。
本文件由上海市能源标准化技术委员会归口。