YS/T 791-2012
靶铂
Platinum target
2012-11-07发布
2013-03-01实施
本标准按照GB/T1.1-2009 给出的规则起草。
本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC 243）归口。
1 范围
本标准规定了铂靶的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及合同或订货单。本标准适用于半导体器件用的各类铂溅射靶材（以下简称铂靶），其他用途的铂靶材也可参照使用。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注目期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB/T1132 产品几何技术规范（GPS） 几何公差 形状、方向、位置和跳动公差标注
GB/T1419—2004 海绵铂
GB/T 15077-2008 贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法
3 要求