SJ/T 11506-2015
集成电路用铝腐蚀液
Aluminum etching solution for Integrated Circuit
2015-04 - 30 发布
2015- 10- 01 实施
前 言
本标准是按照GB/T1.1—2009之规则起草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）归口。