SJ/T 11450-2013
单晶炉能源消耗规范
Specification for energy consumption norm of silicon single crystal grower
2013- 12 -01 实施
2013- 10- 17发布
前 言
本标准按照GB/T 1.1—2009给出的规则起草。
本标准由工.业和信息化部节能与综合利用司、中国电子节能技术协会提出。
本标准由中国电子技术标准化研究院归口。