SJ/T 11517-2015
电子工业用气体 一氧化碳
Gases for electronic industry-Carbon monoxide
2015 - 04 - 30 发布
2015-10- 01 实施
前 言
本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
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本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会（SAC/TC203/SC1）归口