SJ/T 11707-2018
硅通孔几何测量术语
Terminology for through silicon via geometrical metrology
2018-04-01实施
2018-02-09发布
前 言
本标准按照GB/T 1.1—2009给出的规则起草。
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本标准由全国半导体器件标准化技术委员会集成屯路分技术委员会归口。