GB/T 34178-2017
光掩模石英玻璃基板
Silica glass substrates for photomask
2018-08-01 实施
2017-09-07发布
前言
本标准按照 GB/T1.1—2009 给出的规则起草。
本标准由中国建筑材料联合会提出。
本标准由全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会（SAC/TC447）归口。