GB/T 34971-2017
半导体制造用气体处理指南
Guide for gaseous effluent handling in semiconductor industry
2018-02-01 实施
2017-11-01发布
本标准按照 GB/T 1.1—2009 给出的规则起草。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC 203）提出并归口。