GB/T 35306-2017
硅单晶中碳、氧含量的测定低温傅立叶变换红外光谱法
Test method for carbon and oxygen content of single crystal silicon—Low temperature fourier transform infrared spectrometry
2018-07-01 实施
2017-12-29发布
本标准按照 GB/T 1.1—2009 给出的规则起草。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC 203）与全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会（SAC/TC 203/SC 2）共同提出并归口。