
GB/T 14844-2018 代替GB/T 14844—1993
半导体材料牌号表示方法
Designations of semiconductor materials
2019-11-01实施
2018-12-28发布
前 言
本标准按照 GB/T 1.1—2009给出的规则起草。
本标准代替GB/T14844—193《半导体材料牌号表示方法》,与GB/T14844—1993相比主要技术变化如下∶
——修改了范围中本标准适用性的描述(见第1章,1993年版的第1章);
——将原3.1.1中生产方法和用途分成两项,并对牌号表示方法排序进行调整,名称为第一项,生产方法为第二项(见3.1.1,1993年版的3.1);
——删除了多晶生产方法中的"铸造法",增加了"T表示三氯氢硅法"、"S表示硅烷法"、"F流化床法"和"其他生产方法表示形式参照以上方法进行"(见3.1.3,1993年版的3.1.1);
——修改了"N表示块状"为"C表示块状",并增加了"G表示颗粒状"和"其他多晶形状表示形式参照以上方法进行"(见3.1.4,1993年版的3.1.3);
——增加了"E 表示电子级用途"和"S表示太阳能级用途"(见3.1.6);
——调整了单晶牌号表示方法排序(见3.2.1,1993年版的3.2);
——增加了示例"如硅单晶Si、砷化像单晶GaAs、碳化硅单晶SiC、锗单晶Ge、锑化钢单晶InSb、磷化嫁单晶 GaP和磷化锢单晶InP等"(见3.2.2);
——增加了"C表示铸锭法"(见3.2.3);
——增加了导电类型示例"例如N型导电类型掺杂元素有磷P、锑Sb、砷As,P型导电类型掺杂元素有硼 B,区熔气相掺杂用 FGD表示等"(见3.2.4);
——增加了示例"例如晶向(111)、<100>和<110>等"(见3.2.5);
——增加了示例"如硅片 Si、砷化锌片GaAs、碳化硅片 SiC、锗片Ge、锑化锢片InSb、磷化家片GaP 和磷化锢片InP等"(见3.3.2);
——增加了"SCW 表示太阳能切割片"(见3.3.4);
——调整了外延片牌号表示方法排序(见3.4.1,1993年版的3.4);
——增加了示例"如硅外延片Si、砷化稼外延片GaAs、碳化硅外延片SiC、锗外延片Ge、锑化锢外延片InSb、磷化家外延片GaP和磷化锢外延片InP等"(见3.4.2);—增加了牌号中字母表示方法(见附录A)。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)共同提出并归口。