GB/T 10067.416-2019
电热和电磁处理装置基本技术条件第416部分：多晶硅铸锭炉
Basic specifications for electroheating and electromagnetic processii^ installations— Part 416 ： Polysilicon ingot furnace
2019-08-30 发布
2020-03-01 实施
目 次
前言...................................1
1范围.....................................1
2规范性引用文件................................1
3术语和定义..................................1
4产品分类...................................2
5技术要求...................................2
6试验方法...................................6
7检验规则...................................7
8标志、包装、运输和贮存............................8
9订购与供货..................................8