ICS23.160 J78 备案号：51587—2015
JB
中华人民共和国机械行业标准
JB/T6922-2015 代替JB/T6922—2004
真空蒸发镀膜设备
Vacuum evaporation coatingplant
2015-10-10发布
2016-03-01实施
中华人民共和国工业和信息化部发布 JB/T6922-2015
目 次
前言 1范围 2规范性引用文件 3型号、形式与基本参数
3.1型号.. 3.2结构形式 3.3基本参数.. 4技术条件... 4.1设备正常工作条件 4.2结构要求 4.3制造要求， 4.4安全防护要求 5试验方法 5.1 极限压力测量
5.2 抽气时间测量 5.3升压率的测量. 5.4电阻蒸发源通电试验 5.5电子束蒸发源通电试验 5.6镀膜室工件烘烤装置有效加热区加热均匀度的测量 6检验规则 7标志、包装、运输与贮存
7.1、标志 7.2 包装 7.3 运输： 7.4 贮存 JB/T69222015
前言
本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。 本标准代替JB/T6922—2004《真空蒸发镀膜设备》，与JB/T6922—2004相比主要技术变化如下：
删除了GB/T11164—1999，增加了GB/T13384（见第2章，2004年版的第2章）：将原标准第3章中的“型式”修改为“形式”（见第3章，2004年版的第3章）；删除原标准表1中有关镀膜室尺寸的内容（见表1，2004年版的表1）：删除了原标准4.1中对GB/T11164一1999的引用，增加了对“环境温度”“环境相对湿度”“冷却水进水温度”“冷却水质量”的要求，以及对电源、工作环境和产品使用说明书内容的要求（见4.1，2004年版的4.1）；删除了原标准中以扩散泵为主泵时的要求（见2004年版的4.2.4）；删除了原标准中对“测温电极”的要求（见2004年版的4.2.6)；增加了对触摸屏的要求（见4.2.8）；增加了对蒸发热源的加热器的清洁要求（见4.2.9，2004年版的4.2.9）：增加了对不锈钢保护罩的要求（见4.2.12)：修改了原标准针对负载情况的保护要求（见4.4.7，2004年版的4.4.7）：修改了原标准4.4.11中对标牌的要求（见4.4.11，2004年版的4.4.11）：修改了原标准试验条件中对所用真空计的要求［见5.1.1c），2004年版的5.1.1c）]：修改了原标准中镀膜室工件烘烤装置有效加热区加热均匀度的测量（见5.6，2004年版的5.6）；修改了原标准中的公式（2），增加了公式（3），且将温度表示符号由改为T［见公式（2）和（3），2004年版的公式（2）]：删除了原标准中对辐射的测量要求（见2004年版的6.2.2.1）：修改了原标准中对制造厂商的要求【见7.1a），2004年版的7.1a）]：增加了对设备包装的要求（见7.2.1，2004年版的7.2.1）。
本标准由中国机械工业联合会提出。 本标准由全国真空技术标准化技术委员会（SAC/TC18）归口。 本标准负责起草单位：中山凯旋真空技术工程有限公司。 本标准参加起草单位：湖南玉丰真空科学技术有限公司、东莞劲胜精密组件股份有限公司、肇庆市
科润真空设备有限公司、东莞市汇成真空科技有限公司、大连远东真空技术有限公司、沈阳真空技术研究所。
本标准主要起草人：李龙军、吴樱华、周毅、王长明、戴晋福、罗志明、陈大民、李玉英。 本标准所代替标准的历次版本发布情况为：
JB/T6922—1993，JB/T6922—2004。
II JB/T6922-2015
真空蒸发镀膜设备
1范围
本标准规定了真空蒸发镀膜设备的型号、形式与基本参数、技术要求、试验方法、检验规则及标志、 包装、运输和处存。
本标准适用于极限压力在5×10*Pa～5×10-Pa范围内的真空蒸发镀膜设备（以下简称设备）。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB/T191 包装储运图示标志 GB/T6070 真空技术法兰尺寸 GB/T13306 标牌 GB/T13384 机电产品包装通用技术条件 JB/T1090 丁型真空用橡胶密封圈型式及尺寸 JB/T1091 JO型和骨架型真空用橡胶密封圈型式及尺寸 JB/T1092 O型真空用橡胶密封圈型式及尺寸 JB/T7673 真空技术：真空设备型号编制方法
3型号、形式与基本参数
3.1 型号
设备的型号应符合JB/T7673的规定。 3.2结构形式
设备主要由镀膜室、蒸发系统、真空系统、机架、保护装置及电气控制装置组成。 3.3基本参数
设备的基本参数应符合表1的规定。
表1
项次
参数名称
参数数值
分档
A ≤5X104
B ≤5X10-3
真空 极限压力Pa 指标 抽气时间min ≤15（从大气压至7×10-Pa）
1
≤8（从大气压至7×10-Pa）
升压率Pa/h
≤8×10-
≤2
工件烘烤装置温度调节范围 室温~200℃、室温~300℃、室温～~350℃、室温~400℃、室温~600℃ 有效加热区加热均匀度
2 3
≤5%
1 JB/T6922—2015
4技术条件
4.1设备正常工作条件 4.1.1环境温度：10℃~35℃。 4.1.2环境相对湿度：不大于75% 4.1.3冷却水进水温度：不高于25℃ 4.1.4冷却水质量：城市自来水或质量相当的水。 4.1.5供电电源：380V、三相五线制、50Hz：电压允许范围为361V399V：频率允许范围为49Hz~ 51Hz. 4.1.6工作环境：室内应整洁：地面、天花板及设备周围墙壁应干净：空气应清洁：不应有可引起电器及其他金属表面腐蚀或引起金属间导电的尘埃或气体存在。 4.1.7设备所需的总功率及压缩空气、液氮、冷却水等压力、温度、消耗量均应在产品使用说明书中写明。 4.2结构要求 4.2.1设备的结构应布局合理，造型美观，便于操作和维修。 4.2.2 设备中静、动密封的结构形式及尺寸应符合GB/T6070和JB/T1090～1092的规定。 4.2.3在低真空和高真空管道及镀膜室上应装设真空规管接口，分别测量各部位的压力。 4.2.4镀膜室应有观察窗，对在镀膜过程中发生射线的设备，观察窗上应加装防射线镜片。 4.2.5带工件烘烤装置的设备，应有测温装置。 4.2.6工件架旋转机构的转速应符合产品设计要求。 4.2.7装有离子轰击装置或宽束低能离子源装置的设备，在产品设计要求规定的参数范围内应能正常连续稳定工作30min以上。 4.2.8设备配有触摸屏的，触摸屏的界面应清晰，易于操作，并且应有程序备份且随机携带。 4.2.9采用钨丝作为蒸发热源的加热器加热前应进行清洁处理，应能使蒸镀材料正常蒸发：且在蒸发过程中，加热器的几何形状应不影响正常蒸发。 4.2.10设备的蒸发源工作状况应稳定，易于调节控制。对各类蒸发源（如电阻蒸发源、电子束蒸发源。 离子束蒸发源、激光蒸发源、感应式蒸发源等）的技术要求应按相应的产品标准做具体规定。 4.2.11设备采用低电压、大电流电阻蒸发源时：每个蒸发源加热器应在电压4V～20V、电流50A～ 180A状态下正常工作 4.2.12镀膜室内壁宜配有不锈钢保护罩，并易于拆装清洗。 4.3制造要求 4.3.1：设备的零、部件机械加工质量及焊接质量、装配质量应符合制造厂技术文件的规定。 4.3.2设备镀膜室内表面及各密封表面的表面粗糙度Ra值宜不大于1.6μm，且对工作时处于真空状态的各表面应进行有效的真空清洁处理并予以干燥。各转动件、升降机构等动作应灵活，不得有卡、滞、 松、抖及异常声响等现象，需用润滑脂的动密封处应充入适量真空油脂。 4.3.3设备主要零部件的材料应符合相应材料标准的规定。 4.3.4设备配套的电气装置的质量应符合制造厂技术文件的规定，并应保证设备运行和操作时安全可靠。装置中线路的排布应整齐、清晰、便于维修，设备中电器回路的绝缘电阻应符合表2的规定。 4.3.5设备的外观质量应做到没有非功能性需要的尖角、棱角、凸起及粗糙不平表面。零、部件结合面的边沿应整齐匀称，不得有明显错位。金属零件的镀层应牢固，无脱落及生锈等现象，所有紧固件应有防锈层。设备的涂漆表面应光洁、美观、牢固，无脱落、起皮等现象。 2 JB/T69222015
表2 0.5~1 ≥2.5
电压kv 绝缘电阻M2
0.5 >2
1~3 ≥3.5
3~10 ≥6
4.3.6设备中外购的配套产品，应符合相应的产品标准，并应有质量合格证。设备中自制的配套产品，经制造厂检验部门检验合格后方可使用。 4.3.7设备中各类蒸发源、辅助离子源及离子轰击、工件旋转、工件烘烤、工件偏压、膜厚监控等装置，应逐项调试和联合调试，其性能均应达到设计要求，运行可靠。工件加热到额定温度，真空室外表面温度不得高于45C，设备运动部分应能正常工作。 4.4安全防护要求 4.4.1关键部件的水冷系统应有断水或水压不足的报警装置，并且与电源、真空系统、传动系统相关联的部分应有联锁保护机构，且保护机构的动作应灵敏、可靠。 4.4.2对装设电磁或气动阀门的设备，镀膜室充气阀与高真空阀及高真空阀与预抽阀应保持互锁，突然停电时，阀门应能自动关闭。 4.4.3设备及其附属的电气装置均应有接地装置，接地处应有明显标记。 4.4.4在配电板上或电线管内不得用由几段连接起来的电线，电线出入口及电线穿过的金属壁应用光滑的绝缘材料保护。 4.4.5设备上的电气线路及电气元件应保证不受冷却液、润滑油及其他有害物质的影响。 4.4.6 设备运转中突然停电后，恢复供电时应能防止电器自行接通。 4.4.7 在设备电气线路中，针对负载情况应有过电流，过载及过热保护装置。 4.4.8应用高电压电源的设备，其装有高压电极的镀膜室的开启与高压线路的接通应有安全联锁装置。 4.4.9 设备中的高压、高频以及其他有可能产生损害人体的射线的部位，应安装屏蔽装置。 4.4.10 液压系统和气压系统应装设压力指示仪表及调节压力的安全装置。 4.4.11 设备及其附属装置上应装设操作和安全所必需的标牌或标记，标牌及标记应醒目、牢固：易于辨认：文字应准确、清晰、简单易懂。 4.4.12外露的齿轮、带轮等应有可靠的防护装置
5试验方法
5.1极限压力测量 5.1.1试验条件
试验条件要求如下： a）镀膜室内为空载（既不安放被镀件：也不加装膜料），但不得拆去设备正常工作应安装的蒸发
源、工件架等： b）真空测量规管应装于镀膜室壁上或最靠近镀膜室的真空管道上： c）所用真空计应校验合格且在使用有效期内 d）充许在抽气过程中用设备本身配有的烘烤或轰击装置对镀膜室进行除气： e）对分成卷绕室和镀膜室的卷绕镀膜设备，应在两室同时抽气时对镀膜室的压力进行测试； f）对于多室的镀膜设备，应在所有真空室同时抽气时，对镀膜室的压力进行测试。
5.1.2试验方法
在对镀膜室连续抽气24五之内，测量其压力的最低值，定为该设备的极限压力。当压力变化值在
3 JB/T6922—2015
0.5h内不超过5%时，取测量表示值最高值为极限压力值，且镀膜室内各旋转密封部位处于运动状态。 5.2抽气时间测量 5.2.1试验条件
同5.1.1a)、b)、c)、d）中的要求。 5.2.2试验方法
设备在连续抽气条件下，使镀膜室达到极限压力后，打开镀膜室，打开镀膜室15min后，再关闭镀膜室对其再度抽气至表1中所规定的压力值所需的时间，定为该设备的抽气时间。 5.3升压率的测量 5.3.1试验条件
同5.1.1。 5.3.2试验方法
设备在连续抽气24h之内使镀膜室内达到稳定的最低压力后，关闭与镀膜室相连接的真空阀，待镀膜室压力上升至Pi（1Pa）时开始计时，经1h后记录P2，然后按公式（1）计算升压率。
R=P2-PL
.(1)
t
式中： R镀膜室的升压率，单位为帕每小时（Pa/h）： P2镀膜室的终止压力，单位为帕（Pa）： P一镀膜室的起始压力，单位为帕（Pa）：一压力由P，升至P2的时间，单位为小时（h）。
5.4电阻蒸发源通电试验
镀膜室进行清洁处理后。装入电阻蒸发源加热器及蒸发膜料，然后对镀膜室抽气至压力低于工作压力，此时，接通蒸发电源，逐渐加热，使蒸发电流达到4.2.11的规定，此时蒸发器应达到白炽状态，蒸发结束后，蒸发器上的膜料应全部蒸发。 5.5电子束蒸发源通电试验
镀膜室进行清洁处理后装入电子枪、蒸发膜料（如高纯铝、纯钼）及样品，然后对镀膜室抽气至压力低于1X10-2Pa，此时，按照所配置电子束蒸发源的技术要求进行通电试验。
电子枪的试验项目应包括电压、束流、调节范围、最大束流、电子束扫描、长期使用功率、最大功率换位或旋转等。 5.6镀膜室工件烘烤装置有效加热区加热均匀度的测量
起动真空系统将镀膜室抽气到工作压力：接通烘烤装置电源，当温度达到最高烘烤温度并保持 10min后，在被镀工件与烘烤装置之间、距工件表面10mm处的有效加热区内，用热电偶或其他温度传感器测量点温度（根据镀膜室尺寸确定点数，最少不能少于3点），各点应同时测量（宜使用同一个表，可使用转换开关）。然后按公式（2）和公式（3）计算出各测量点温度与平均温度的最大相对偏差作为加热均匀度。
4 JB/T69222015
T
(2)
KD
2
(3)
n
式中： G第i点有效加热区加热均匀度： T第i点温度，单位为摄氏度（℃)： Tepn个测点的平均温度，单位为摄氏度（℃）。
6检验规则
6.1每台设备必须经制造厂检验部门检验合格后方能出厂，并附有产品质量合格证。 6.2设备的检验分为出厂检验和型式检验。 6.2.1出厂检验
出厂检验应逐台进行，其检验内容包括3.3、4.2.3、4.2.7、4.2.5、4.2.9、4.2.10、4.3.7、4.4.1、4.4.2、 4.4.4、4.4.8、4.4.9、4.4.10、4.4.12规定的项目。
另外，还应进行与设备配套的电气装置的空载通电试验及各用电部分的绝缘电阻检查。 6.2.2型式检验 6.2.2.1设备的型式检验应包括3.3和第4章的全部内容。 6.2.2.2有下列情况下之一时，设备应进行型式检验
a）试制的新产品： b）设备在设计、工艺或材料上有重大变更： e）同类产品鉴定： d）成批量产品的定期抽查，每两年进行一次，每次抽查该批的10%（不得少于两台），若有一项
不合格，则应重新抽取加倍数量的产品进行复检，若仍有不合格，则逐台进行检验。
6.3，检验时的试验方法按第5章的规定。 6.4检验用仪器仪表须经计量部门检定合格，并具有在有效期内的合格证明。
7标志、包装、运输与贮存
7.1标志
每台设备及其附属装置应在其明显部位装设标牌，标牌应符合GB/T13306的规定。其内容包括： a）制造厂商标、名称、地址： b）设备型号及名称； c）设备的主要技术指标： d）制造日期及出厂编号。
7.2包装 7.2.1设备的包装应符合GB/T13384的规定。
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