ICS 23.160 J 78
中华人民共和国国家标准
GB/T 32218—2015
真空技术 真空系统漏率测试方法 Vacuum technology--Test methods for leak rates of vacuum system
2017-01-01实施
2015-12-10 发布
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会
发布 GB/T 32218—2015
目 次
前言 1 范围 2规范性引用文件 3术语和定义测试原理
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4.1 氮质谱法真空系统漏率测试原理 4.2静态升压法真空系统漏率测试原理 5仪器与设备 5.1 检漏仪和检漏系统 5.2 标准漏孔 5.3 真空计 5.4 氮罩 5.5 累积阀 5.6 测试阀 6 测试条件 6.1 测试场地的环境要求 6.2 氨气 6.3 氮气测试程序 7.1 测试前准备 7.2 氮质谱法真空系统漏率测试 7.3 静态升压法真空系统漏率测试. 8漏率测试中断处理· 8.1 氨质谱漏率测试的中断处理· 8.2静态升压法漏率测试的中断处理…… 9 测试记录与报告 9.1 测试记录· 9.2 测试报告参考文献
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11 12 13 GB/T 32218—2015
前 言
本标准按照 GB/T 1.1一2009 给出的规则起草。 本标准由中国机械工业联合会提出。 本标准由全国真空技术标准化技术委员会(SAC/TC 18)归口。 本标准负责起草单位：中国空间技术研究院兰州空间技术物理研究所。 本标准参加起草单位：北京卫星环境工程研究所、湖南维格磁流体股份有限公司、安徽皖仪科技股
份有限公司、宁波爱发科真空技术有限公司、成都南光机器有限公司、台州环球真空设备制造有限公司上海惠丰石油化工有限公司、沈阳真空技术研究所。
本标准主要起草人：李得天、肖祥正、陈光奇、王荣宗、陈联、孙立臣、闫荣鑫、言继春、黄文平、刘磊、 王国东、何小波、范林东、赵计春、赵伟胜、惠泽民、王玲玲。
I GB/T 32218—2015
a）环境温度:30℃～16℃； b）相对湿度<80%; c）无强磁场干扰、无剧烈振动、无腐蚀性气体； d）环境通风良好。
6.2氨气
测试使用的氮气应满足GB/T4844一2011中合格品的要求。 6.3氮气
测试使用的氮气应满足GB/T 3864一2008规定的技术指标要求。
7 测试程序
7.1测试前准备 7.1.1真空机组、阀门、管路应按真空设计要求进行安装，并保持被测真空系统清洁，无多余物。 7.1.2 真空机组、阀门应工作正常。 7.1.3质谱检漏仪工作正常,并按要求连接真空系统漏率测试装置。 7.1.4 真空标准漏孔与真空计应远离抽气口，靠近被测部位安装。 7.2 氮质谱法真空系统漏率测试 7.2.1检漏仪最小可检漏率测试 7.2.1.1测试装置
测试装置由检漏仪、标准漏孔阀和真空标准漏孔组成，见图1。
A
说明： 1 -检漏仪； 2——标准漏孔阀; 3——真空标准漏孔。
图1检漏仪最小可检漏率测试装置示意图
7.2.1.2测试步骤
测试步骤如下： a） 启动检漏仪,待检漏仪正常工作后,关标准漏孔阀，记录检漏仪的本底值Io1; b） 测最小可检信号值Inl，按GB/T18193中的方法进行； c） 开标准漏孔阀,记录检漏仪输出指示的稳定值Is1； d）检漏仪最小可检漏率按式(1)计算：
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